高純氣體(Purified Gases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對(duì)于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對(duì)于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、氬、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。[1]

高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體，和無(wú)機(jī)高純氣體